正月初七,年味尚未散尽,深圳的深微半导体三厂却已笼罩在一片比冬日更冷的寒意中。
假期里那顿素包子带来的热血,被现实兜头浇了一盆冰水。刘工团队按照陈凡“降低分子量、增加单体活性”的思路,连夜调配出的第七版光刻胶,在上午的涂布实验中,表现出了灾难性的后果。
实验室里,原本应该平整光滑的晶圆表面,此刻像患上了严重的皮肤病。胶体不仅没有均匀附着,反而出现了大面积的“橘皮现象”——表面皱缩,凹凸不平,如同扔进火炉烤焦的橘子皮。更严重的是,在随后的显影过程中,图案边缘模糊不清,线条断裂,整批晶圆彻底报废。
“怎么会这样……”刘工瘫坐在椅子上,双手抱头,军大衣的领口被抓得变了形。他盯着显微镜下那惨不忍睹的画面,嘴唇哆嗦着,“参数……参数明明是对的啊!陈老板的思路,吴老的点拨,我们都照做了……”
吴老戴着老花镜,一言不发地盯着那块报废的晶圆,枯瘦的手指在桌面上无意识地敲击着。半晌,他长叹一声:“是我大意了。只想着增加活性,却忽略了聚合过程中的相分离问题。这就像和面,水加多了,面是软了,但抓不起来,一煮就烂。我们这胶水,也是‘烂’了。”
空气凝固了。几个年轻的工程师低着头,不敢出声。大伟红着眼圈,想说什么,却终究没敢开口。
赵磊站在实验室门口,感觉自己的心脏像是被一只无形的手攥紧了。他在澳门见过股市崩盘,见过项目烂尾,但那种挫败感是数字上的、金钱上的。而此刻,这种挫败感是物质上的,是眼睁睁看着心血变成废品,看着一群人的希望瞬间破灭的无力感。他第一次意识到,陈凡口中“造芯”的艰难,不是形容词,是动词,是正在发生、正在流血的现实。
“刘叔,吴老,”赵磊强迫自己镇定下来,走上前,尽量让自己的声音听起来平稳,“是不是……是不是测试方法有问题?或者说,我们的环境控制不到位?刚才涂布的时候,我好像看到通风橱的气流有点不稳。”
刘工猛地抬起头,布满血丝的眼睛盯着赵磊,像是在看一个搅局的门外汉。吴老却眼前一亮,抬头看向天花板角落的温湿度计和压差表。
“小赵……你这话,倒提醒了我。”吴老颤巍巍地站起来,走到压差表前,眯着眼看了半天,“你们看,洁净室的压差……怎么比标准值低了五个帕斯卡?虽然还在合格范围内,但对于这种超高精度的光刻胶来说,五个帕斯卡的波动,足以导致溶剂挥发速率的改变,进而影响成膜质量!”
刘工也愣住了,立刻冲到控制台前,调取了过去二十四小时的环境数据记录。果然,从昨晚开始,新风系统的风机转速出现了细微的、周期性的波动,导致洁净室内的正压稳定性下降。
“是风机!”刘工一拍大腿,懊恼不已,“过年期间,电力负荷波动,我们只盯着生产设备,忽略了环境保障系统!这就像在沙滩上盖楼,地基一直在晃,楼怎么能盖得稳!”
问题找到了,但沮丧的情绪并未消散。这意味着,之前的几十次试验,至少有一半是在不稳定的环境下进行的,数据参考价值大打折扣。更重要的是,修复风机、重新校准环境,至少需要三天。而时间,是深微最奢侈不起的东西。
“刘叔,吴老,你们休息一下。环境的事,我来处理。”赵磊深吸一口气,做出了一个大胆的决定。他没有像以前在澳门那样,打电话叫维修工,而是转身跑出实验室,直奔设备间。
他找到负责设备维护的老张头。老张是个老技工,正叼着烟,优哉游哉地喝茶。看到赵磊气喘吁吁地跑进来,他慢悠悠地吐了个烟圈:“赵总,过年好啊。啥事儿?”
“张师傅,三厂洁净室的新风风机,转速不稳,压差不够!刘工和吴老的实验全废了!您赶紧去看看!”赵磊急道。
老张头瞥了他一眼,把烟掐灭,不紧不慢地说:“哦,那个啊。有点小毛病,不影响生产。过年嘛,维修队都放假了,配件也不好弄。凑合用呗,等过完这阵子再说。”